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SJ6000激光干涉儀檢測光刻機

發(fā)布時(shí)間:2021/4/9 10:03:38

光刻機是集成電路生產(chǎn)的最關(guān)鍵的設備之一,在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中占據重要的地位。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一,運動(dòng)性能和定位精度決定了光刻工藝所能實(shí)現的線(xiàn)寬和產(chǎn)率。

光刻機的工作臺是一個(gè)六自由度的運動(dòng)臺,其中X/Y向運動(dòng)臺是最核心的基礎工序。管控XY軸角度YawPitch,直線(xiàn)度Horizontal StraightnessVertical Straightness是獲得XY線(xiàn)性(重復)精度(Linear Positioning)的關(guān)鍵,是后續實(shí)現六自由度的控制的基石,是多層曝光對準精度的源頭。

本次檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線(xiàn)度,部分結果如下:

 

YVertical Straightness測量

XPitch測量

X軸測量軸長(cháng)225mm,其中垂直直線(xiàn)度測得結果0.58μm。 

Y軸測量軸長(cháng)600mm,測得角度Yaw結果0.86″。

 

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